【池田屋商社】EYE岩崎 紫外线清洗灯管 QGL600G-3

EYE岩崎 QGL600G-3 是一款用于紫外线臭氧清洗工艺的专业低压汞灯管。它并非通过物理摩擦或液体溶剂,而是利用特定波长的紫外线引发光化学反应,从而实现物体表面的超精密清洗和改性。
核心原理:紫外光解与臭氧氧化
其清洗作用主要依赖于其发射的两种关键紫外线波长:
- 185nm 紫外线:此波长的光子能量极高,能直接裂解空气中的氧气分子,生成强氧化性的臭氧。
- 254nm 紫外线:此波长的光子能量适合直接打断物体表面有机污染物分子(如油脂、光刻胶残留、指纹)的化学键,使其分解为易挥发的小分子。
- 两种波长协同作用:254nm紫外光直接分解污染物,同时185nm紫外光生成的臭氧进一步氧化分解残留物,最终生成二氧化碳和水蒸气被带走,从而实现无接触、无残留、无损伤的干法清洗。
产品特性与结构
- 灯管类型:属于低压汞蒸汽放电灯。内部充有低压汞和适量惰性气体,通过电弧激发汞原子发出特征谱线。
- 石英玻璃材质:灯管采用特殊合成石英玻璃制作,能高效透过185nm和254nm这两种关键的短波紫外线。普通玻璃会完全阻挡185nm紫外光。
- 型号含义:“QGL”系列通常指直管型紫外线灯,“600”可能代表其功率(瓦数)或长度特征,“G-3”是具体型号代码。
- 电气参数:通常需要匹配专用的镇流器和电源,工作在特定的电流和电压下,以稳定激发紫外光。
主要应用领域
QGL600G-3 广泛应用于对清洁度要求极高的领域:
- 半导体与集成电路制造:在光刻、键合、封装前清洗晶圆,去除有机污染物,提高附着力和产品良率。
- 精密光学元件加工:清洗透镜、棱镜等表面的油脂和灰尘,为镀膜做准备。
- 平板显示制造:清洗玻璃基板,确保后续薄膜沉积的质量。
- 科研实验:用于材料科学、生物芯片等需要超洁净表面的实验前处理。
重要注意事项
- 安全防护:其发出的短波紫外线对人体皮肤和眼睛有严重伤害,操作时必须确保设备有完善的屏蔽,防止紫外线泄漏。
- 臭氧管理:产生的臭氧需通过排气系统有效排出,或使用催化分解装置处理,避免危害人体健康。
- 灯管寿命:紫外光输出强度会随使用时间衰减,需定期监测并根据工艺要求更换,以确保清洗效果稳定。
总而言之,EYE岩崎 QGL600G-3 并非普通照明光源,而是一种利用精密紫外光谱进行表面处理的关键工艺组件。它为现代高端制造业提供了不可或缺的、非接触式的超洁净表面解决方案。
