门罗微系统申请利用导电阻挡层的玻璃通孔专利，防止与导电玻璃通孔相关联的腐蚀
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2026-02-10 20:22:36
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国家知识产权局信息显示，门罗微系统公司申请一项名为“利用导电阻挡层的玻璃通孔”的专利，公开号CN121487890A，申请日期为2023年6月。

专利摘要显示，一种防止与导电玻璃通孔（TGV）相关联的腐蚀的方法可以包括在玻璃衬底中形成TGV以用于微机电系统（MEMS）器件。TGV具有第一端部和第二端部，并且至少部分地包括铜。该方法还可以包括在TGV的第一端部和/或TGV的第二端部上施加导电阻挡层，以及在导电阻挡层上施加金属层。该方法还可以包括使导电阻挡层在TGV的第一端部上以及在玻璃衬底的包围TGV的端部的至少一部分上延伸，使得导电阻挡层与TGV和玻璃衬底之间的边界交叠。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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