正钜智能申请晶圆减薄装置及其多工位抛光方法专利，保证TGV玻璃基板抛光后厚度均匀
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2026-02-13 12:37:18
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国家知识产权局信息显示，东莞市正钜智能装备有限公司申请一项名为“一种晶圆减薄装置及其多工位抛光方法”的专利，公开号CN121491885A，申请日期为2025年12月。
专利摘要显示，本发明公开了一种晶圆减薄装置及其多工位抛光方法，具体涉及晶圆减薄领域，包括工作台，工作台上设置有粗磨工位、精磨工位和上下料工位，工作台的内部安装有分度器，分度器的输出端安装有多个承片台，分度器用于带动承片台在粗磨工位、精磨工位和上下料工位之间流转；承片台包括安装架，安装架的上方设置有吸盘，吸盘用于吸附并承载晶圆。本发明通过采用在出料时承片台与TGV玻璃基板同步移动的方式，使吸盘始终位于TGV玻璃基板的正下方，从而使得TGV玻璃基板在抛光过程中表面残留的水珠从四周掉落时，不会掉落在吸盘的表面，防止吸盘上沾有抛光下来的细颗粒影响TGV玻璃基板的放置精度，保证TGV玻璃基板抛光后厚度均匀。
天眼查资料显示，东莞市正钜智能装备有限公司，成立于2020年，位于东莞市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本3000万人民币。通过天眼查大数据分析，东莞市正钜智能装备有限公司共对外投资了1家企业，专利信息5条，此外企业还拥有行政许可12个。
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来源：市场资讯
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