菲利华申请高密度不透明石英玻璃制备方法专利,可解决半导体器件污染问题
创始人
2026-01-23 12:53:14
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国家知识产权局信息显示,湖北菲利华石英玻璃股份有限公司申请一项名为“一种高密度不透明石英玻璃的制备方法”的专利,公开号CN121361952A,申请日期为2025年11月。

专利摘要显示,本发明涉及一种高密度不透明石英玻璃的制备方法,属石英玻璃生产技术领域。本发明是将SiO2含量>99.99%的天然石英或石英玻璃破碎、酸洗干燥后,与氧化铪粉混合投入真空电熔炉,在温度1700—1750℃的条件下将石英砂熔化成石英玻璃热液后冷却,制得高密度不透明石英玻璃。本发明制备的不透明石英玻璃内部几乎不含任何气孔,密度可达到2.20~2.21g/cm3的石英玻璃密度理论值;其5mm切割薄片的全光谱透过率<1%;解决现有不透明石英玻璃生产方法存有的气孔含量过高,所导致半导体器件在生产过程中被污染的问题,特别适合半导体生产使用的需要。

天眼查资料显示,湖北菲利华石英玻璃股份有限公司,成立于1999年,位于荆州市,是一家以从事非金属矿物制品业为主的企业。企业注册资本52226.7673万人民币。通过天眼查大数据分析,湖北菲利华石英玻璃股份有限公司共对外投资了12家企业,参与招投标项目111次,财产线索方面有商标信息10条,专利信息148条,此外企业还拥有行政许可252个。

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来源:市场资讯

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