芯钛科取得高速旋转旋涂机构专利，避免涂料飞溅到挡圈之外的设备其他部位
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2026-01-10 23:17:46
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国家知识产权局信息显示，芯钛科半导体设备（上海）有限公司取得一项名为“一种高速旋转的旋涂机构”的专利，授权公告号CN223775272U，申请日期为2024年12月。
专利摘要显示，本实用新型涉及旋涂设备的技术领域，具体公开了一种高速旋转的旋涂机构，包括涂料组件，回收组件和位移组件，回收组件位于涂料组件下方，涂料组件固定连接于位移组件上方的输出端；涂料组件包括晶圆、晶圆载盘、挡圈、真空导孔和支架，晶圆载盘通过真空导孔将真空导至晶圆载盘的上端面。本实用新型能够实现设备可以进行上下升降运动，晶圆载盘上升到高处时，晶圆载盘比挡圈高，方便机械手上下料，避免机械手和挡圈相互干涉，晶圆与下料机构的出料口距离近，涂料效果好；晶圆载盘下降到低处时，晶圆载盘比挡圈低，旋涂时受离心力飞溅的涂料会被挡圈挡住，避免涂料飞溅到挡圈之外的设备其他部位，使设备污染和受损。
天眼查资料显示，芯钛科半导体设备（上海）有限公司，成立于2018年，位于上海市，是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本2000万人民币。通过天眼查大数据分析，芯钛科半导体设备（上海）有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目1次，财产线索方面有商标信息10条，专利信息31条，此外企业还拥有行政许可6个。
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来源：市场资讯
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