科视光学取得DI光刻机镜头主动防污染装置专利，确保防尘玻璃表面洁净
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2026-02-03 11:31:16
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国家知识产权局信息显示，赣州科视光学科技有限公司取得一项名为“一种DI光刻机成像镜头主动防污染装置”的专利，授权公告号CN223870955U，申请日期为2025年1月。
专利摘要显示，本实用新型提供的一种DI光刻机成像镜头主动防污染装置，包含防尘玻璃固定座、防尘玻璃、风刀模块，防尘玻璃固定座上设置有安装孔，防尘玻璃设置于安装孔上，风刀模块包含风刀主体、阀门，风刀主体包含集气腔、与集气腔连通的出气缝隙，阀门与集气腔连通，通过阀门向集气腔供气，出气缝隙处可吹出将安装孔底端面闭合的气幕。将防尘玻璃固定座安装在镜头镜筒的一端，镜头工作时可透过防尘玻璃出光，防尘玻璃可以阻挡灰尘进入镜筒内，通过阀门向集气腔内供气，出气缝隙处将吹出形成在安装孔底端面上的气幕，可以有效隔离灰尘和污染性气体对防尘玻璃的污染和聚集，确保防尘玻璃表面洁净，提高成像质量，无需对防尘玻璃进行人工清洁，省心省力。
天眼查资料显示，赣州科视光学科技有限公司，成立于2022年，位于赣州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本5000万人民币。通过天眼查大数据分析，赣州科视光学科技有限公司参与招投标项目9次，专利信息8条，此外企业还拥有行政许可7个。
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来源：市场资讯
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