赛森电子取得检测晶圆花篮装置专利，解决微动开关松动影响检测准确性问题
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2026-01-03 14:41:53
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国家知识产权局信息显示，苏州赛森电子科技有限公司取得一项名为“一种检测晶圆花篮的装置”的专利，授权公告号CN223756913U，申请日期为2024年12月。
专利摘要显示，本申请公开了一种检测晶圆花篮的装置，涉及半导体制造技术领域，包括：固定台，固定台上开设有检测孔；升降台板；固定台下方安装有电容式接近开关；支架，支架包括：垂直滑动部；水平滑动部；锁紧部，锁紧部用于固定电容式接近开关在调节后的特定位置，通过在固定台下方安装电容式接近开关，电容式接近开关的感应头通过固定台上的检测孔对晶圆花篮底部进行非接触式检测，并通过垂直滑动部、水平滑动部和锁紧部的可调节支架设计，使电容式接近开关的上下和前后位置能够灵活调节并可靠固定，解决微动开关在长期与晶圆花篮接触中容易松动导致影响检测的准确性的问题，可以使检测装置无需与晶圆花篮接触，不会因为松动导致影响检测的准确性。
天眼查资料显示，苏州赛森电子科技有限公司，成立于2014年，位于苏州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本6000万人民币。通过天眼查大数据分析，苏州赛森电子科技有限公司参与招投标项目21次，财产线索方面有商标信息3条，专利信息111条，此外企业还拥有行政许可5个。
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来源：市场资讯
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