福拉特申请提升玻璃通孔良率方法专利,显著提升TGV通孔制备良率与工艺一致性
创始人
2026-02-17 12:08:09
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国家知识产权局信息显示,江苏福拉特半导体设备有限公司申请一项名为“一种提升玻璃通孔良率的方法”的专利,公开号CN121532016A,申请日期为2025年11月。

专利摘要显示,本发明公开了一种提升玻璃通孔良率的方法,该方法通过三维点云数据获取激光诱导改性区的内部形貌,精确计算改性深度;采用改进的卷积神经网络模型融合激光工艺参数与材料属性,预测每个改性区的刻蚀速率及标准差;基于同一套三维检测数据,分别驱动返工补偿决策与刻蚀工艺优化双闭环,对深度不足区域实施点位级激光二次诱导,并根据速率预测结果动态调整阵列超声功率分布,对慢速区域提高超声功率;通过在线元学习适配机制持续微调模型参数,实现工艺模型的自适应进化。本发明将检测、预测、返工、调控集成于同一制程轨道,解决了传统工艺无法识别内部诱导缺陷、刻蚀速率不均、工艺依赖经验的问题,显著提升了TGV通孔的制备良率与工艺一致性。

天眼查资料显示,江苏福拉特半导体设备有限公司,成立于2019年,位于南京市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本1184.2106万人民币。通过天眼查大数据分析,江苏福拉特半导体设备有限公司共对外投资了4家企业,参与招投标项目33次,财产线索方面有商标信息3条,专利信息64条,此外企业还拥有行政许可9个。

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来源:市场资讯

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