苏州航凯微电子申请三轴MEMS惯性开关及其制备方法专利，提升器件可靠性与环境适应性
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2026-01-31 01:33:43
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国家知识产权局信息显示，苏州航凯微电子技术有限公司申请一项名为“一种三轴MEMS惯性开关及其制备方法”的专利，公开号CN121416375A，申请日期为2025年12月。
专利摘要显示，本发明提供一种三轴MEMS惯性开关及其制备方法，其包括：基板，其上设有两个X向电极组、两个Y向电极组及多个Z向下电极，相邻X向下电极与其之间的Z向下电极围设出第一活动槽，相邻Y向下电极与其之间的Z向下电极围设出第二活动槽；结构层，其包括键合块、悬臂梁及质量块，键合块与基板键合连接，悬臂梁连接键合块及质量块，质量块设有可设置于第一活动槽或第二活动槽中的上电极，上电极与Z向下电极均间隔设置；盖板，其设有避让腔体。本发明采用电极环绕式排布与高度差设计，实现三轴触发通道物理隔离，避免信号串扰，精准限位质量块位移；工艺简化易量产，阈值调控灵活；盖板密封防护，提升器件可靠性与环境适应性。
天眼查资料显示，苏州航凯微电子技术有限公司，成立于2021年，位于苏州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本444.444万人民币。通过天眼查大数据分析，苏州航凯微电子技术有限公司共对外投资了1家企业，专利信息29条，此外企业还拥有行政许可8个。
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来源：市场资讯
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