芯恩（青岛）取得调光玻璃、化学气相沉积装置及半导体制造设备专利，提高晶圆的良品率
创始人
2025-12-09 01:08:08
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国家知识产权局信息显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司取得一项名为“调光玻璃、化学气相沉积装置及半导体制造设备”的专利，授权公告号CN223633275U，申请日期为2024年11月。
专利摘要显示，本申请提供了一种调光玻璃、化学气相沉积装置及半导体制造设备，涉及半导体制造技术领域，包括沿第一方向依次设置的第一玻璃基板、导电氧化物薄膜带和第二玻璃基板；所述导电氧化物薄膜带有多个，多条导电氧化物薄膜带沿第二方向和第三方向所在的平面呈同心且直径递增分布，并且相邻的所述导电氧化物薄膜带间隔设置，其中，第一方向、第二方向和第三方向相互垂直。使调光玻璃应用在化学气相沉工艺时，能够遮挡或透射紫外光，确保紫外光能均匀照射到晶圆表面，提高了晶圆表面沉积薄膜厚度和薄膜质量的均一性，进一步提高了晶圆的质量以及晶圆的良品率。
天眼查资料显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司，成立于2018年，位于青岛市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本1006720.789212万人民币。通过天眼查大数据分析，芯恩（青岛）集成电路有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目190次，财产线索方面有商标信息15条，专利信息879条，此外企业还拥有行政许可56个。
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来源：市场资讯
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